[发明专利]用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车有效
| 申请号： | 201110160611.9 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102328827A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 宁宗娥;吕文利;魏唯;王慧勇 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能硅电池片生产领域，是一种适用于等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）自动装卸片系统的石墨舟小车，包括电动滑台，电动滑台上端设有滑台连接板，并在滑台连接板上端设有基板，基板上方设有石墨舟托板，且石墨舟托板通过连接机构与基板相连，石墨舟托板一端设有带动石墨舟托板绕连接机构中心轴转动的摆动机构，石墨舟托板另一端设有用于夹持石墨舟的夹紧机构,所述石墨舟托板上表面沿长度方向设有支撑石墨舟的石墨舟支板。本发明所述用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，可以较大幅度降低碎片率，以及提高自动装卸片生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 pecvd 自动 装卸 系统 石墨 小车 | ||
【主权项】：
一种用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车，其特征是，包括电动滑台（15），电动滑台（15）上端设有滑台连接板（10），并在滑台连接板（10）上端设有基板（8），基板（8）上方设有石墨舟托板（2），且石墨舟托板（2）通过连接机构与基板（8）相连，石墨舟托板（2）一端设有带动石墨舟托板（2）绕连接机构中心轴转动的摆动机构，石墨舟托板（2）另一端设有用于夹持石墨舟的夹紧机构, 所述石墨舟托板（2）上表面沿长度方向设有支撑石墨舟的石墨舟支板（3）。
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