[发明专利]用于加载或卸载基板的基板处理装置

摘要

本发明涉及一种用于加载或卸载基板的基板处理装置，以在大量处理如太阳能电池基板的基板处理设备中，将基板装载在托盘上。本发明的基板处理装置包括：托盘搬运部，托盘位于其上，并用于搬运所述托盘；基板加载传送部，需要供给至托盘的基板在该基板加载传送部被排成一列；基板卸载传送部，需要从托盘搬出的基板在该基板卸载传送部被排成一列；第一基板搬运机械手，拾取在基板加载传送部待机中的基板，搬运到位于托盘搬运部的托盘上；以及第二基板搬运机械手，从位于托盘搬运部的托盘上拾取基板，并搬运到基板卸载传送部。

主权项

一种基板处理装置，用于在托盘上加载或卸载多个基板，其特征在于，包括：托盘搬运部，托盘位于其上，用于搬运所述托盘；基板加载传送部，需要供给至所述托盘的基板在该基板加载传送部被排成一列；基板卸载传送部，需要从所述托盘搬出的基板在该基板卸载传送部被排成一列；第一基板搬运机械手，拾取在所述基板加载传送部待机中的基板，并搬运到位于所述托盘搬运部上的所述托盘；以及第二基板搬运机械手，从位于所述托盘搬运部的所述托盘上拾取基板，并搬运到所述基板卸载传送部。