[发明专利]电泳沉积装置及电泳沉积方法无效
| 申请号： | 201110167451.0 | 申请日： | 2011-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102230207A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 施文钦;郑健民;陈昱豪;江美昭;李怀安 | 申请（专利权）人： | 华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D13/00 | 分类号： | C25D13/00 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350015 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电泳沉积方法包括：提供一电泳槽、一阳极基板以及一阴极基板；将阳极基板与阴极基板相对设置于电泳槽中；调整阳极基板与阴极基板的相对位置，使得阳极基板上各区域与相对应的阴极基板上各区域间具有不相等的距离；以及分别输入阳极电压与阴极电压至阳极基板的阳极电极与阴极基板的阴极电极，以进行电泳沉积。在本发明中，利用调整电极板之间的距离分布以及利用复数个阳极电极提供电压分布补偿，使得原先因阴极电极的形状或大小导致阴极基板上电压分布不均，进而影响电泳沉积速率均匀性的问题得以有效地改善。 | ||
| 搜索关键词： | 电泳 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电泳沉积方法，其特征在于，包括：提供一电泳槽，该电泳槽承装一电泳液；提供一阳极基板以及一阴极基板，该阳极基板包括至少一阳极电极，且该阴极基板包括至少一阴极电极；将该阳极基板与该阴极基板浸泡于该电泳液中，其中该阳极基板与该阴极基板是相对设置于该电泳槽中；调整该阳极基板与该阴极基板的相对位置，使得该阳极基板上各区域与相对应的该阴极基板上各区域间具有不相等的距离；以及分别输入阳极电压与阴极电压至该至少一阳极电极与该至少一阴极电极，以进行一电泳沉积。
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