[发明专利]紫外光固设备及紫外光固设备报警方法有效
| 申请号： | 201110172459.6 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102231047A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王旭东;施海铭;巴文林;徐立 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G08B21/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种紫外光固设备及紫外光固设备报警方法，其中紫外光固设备包括：腔室；位于腔室内的紫外线发生装置；与所述紫外线发生装置相对的衬底载盘；位于所述衬底载盘底部的水冷却装置；用于探测所述腔室内湿度的湿度传感器，当所述腔室湿度大于设定值，湿度传感器报警。本发明提供的紫外光固设备及紫外光固设备报警方法能够在批次进行光固工艺中避免生产损失，进一步的具有报警精确度高，且具有报警范围大，排除故障及时的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 设备 报警 方法 | ||
【主权项】：
一种紫外光固设备，包括：腔室；位于腔室内的紫外线发生装置；与所述紫外线发生装置相对的衬底载盘；位于所述衬底载盘底部的水冷却装置；其特征在于，还包括：用于探测所述腔室内湿度的湿度传感器，当所述腔室湿度大于设定值，湿度传感器报警。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海宏力半导体制造有限公司，未经上海宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110172459.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
