[发明专利]压力测定器无效
| 申请号： | 201110181429.1 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102374912A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 德田智久;住吉雄一朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李伟;王轶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够准确测定压力的压力测定器。该压力测定器具备：承受压力的挠性膜(1)；用于固定挠性膜(1)底面为圆形的凸部(12)的台座(2)；以及与凸部(12)的圆形的底面接合的图1所示的固定部件(3)。挠性膜(1)可以由硅构成，将(100)面作为主面。此外，挠性膜(1)被配置成由设置有凹部(23)的硅基板(21)和设有凹部(24)的硅基板(22)所夹持。因此，挠性膜(1)隔着硅基板(22)被固定于台座(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 测定 | ||
【主权项】：
一种压力测定器，其特征在于，具备：挠性膜，该挠性膜承受压力；台座，该台座固定上述挠性膜，并且设有底面为圆形的凸部；以及固定部件，该固定部件与上述凸部的圆形的底面接合。
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