[发明专利]光波导路的制造方法有效
申请号: | 201110186064.1 | 申请日: | 2011-07-01 |
公开(公告)号: | CN102313927A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 内藤龙介 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G02B6/138 | 分类号: | G02B6/138;G02B6/122 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种光波导路的制造方法。该光波导路的制造方法在上敷层的形成中使用兼具仿型性和透光性并且不会产生尺寸偏移的成形模。通过将透光性树脂(20A)和透光性支承板(G)作为形成材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件(40)进行模具成形,一体地制作上敷层形成用的成形模(M)。在该成形模(M)的制作中,上述模具构件(40)的脱离痕迹被形成为上敷层形成用的凹部(21)。并且,在形成上敷层时,向上述成形模(M)的凹部(21)内填充上敷层形成用的感光性树脂,在将图案形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内的状态下,透过上述成形模(M)而使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化。 | ||
搜索关键词: | 波导 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种光波导路的制造方法,其具有如下所述的工序:在将芯图案形成于下敷层的表面之后,使用形成有凹部的成形模而以覆盖上述芯的状态形成上敷层,该凹部具有与上敷层的形状相对应的模面,该光波导路的制造方法的特征在于,使用下述(A)的成形模来作为上述成形模,上敷层的形成是这样进行的:向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂,在将上述芯浸入该感光性树脂内的状态下,透过上述成形模使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化而形成为上敷层;(A)是如下这种带有透光性支承板且由透光性树脂制成的成形模,即,将形状与上敷层的形状相同的上述模具构件设置在成形模形成用的容器内,向该容器内填充透光性树脂,使上述透光性支承板与该透光性树脂的表面接触,在此状态下,使上述透光性树脂硬化而固着在上述透光性支承板上之后,从上述容器中将硬化后上述透光性树脂与上述模具构件、上述透光性支承板一起取出,以使上述模具构件脱离而获得成形模的上述模具构件的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部。
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