[发明专利]坩埚、真空蒸镀系统及方法无效
| 申请号： | 201110190560.4 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102864419A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 林君鸿 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种坩埚，包括一埚体，一受热体，及一多孔盖。该埚体一端开口，该受热体与该埚体连接，并包括一伸出该埚体开口的受热端，该受热端用于接受电子枪加热。该多孔盖盖于该埚体的开口端上，包括一避位孔和多个通气孔，该受热体的受热端穿过该避位孔。其中，该埚体、该受热体、该多孔盖以高熔点、传热性良好的材料制成。本发明设置了接受电子枪加热的受热端，从而避免了直接用电子枪加热膜料。本发明还涉及一种使用该坩埚的真空蒸镀系统及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 真空 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种坩埚，其特征在于，包括：一埚体，该埚体一端开口；一受热体，该受热体与该埚体连接，并包括一伸出该埚体开口的受热端，该受热端用于接受电子枪加热；一多孔盖，该多孔盖盖于该埚体的开口端上，包括一避位孔和多个通气孔，该受热体的受热端穿过该避位孔；其中，该埚体、该受热体和该多孔盖以高熔点、传热性良好的材料制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110190560.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
