[发明专利]积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备无效
| 申请号： | 201110193478.7 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102230164A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李云程;李纲;颜朝阳;李云松 | 申请（专利权）人： | 湖南菲尔姆光能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 衡阳市科航专利事务所 43101 | 代理人： | 杨代祯 |
| 地址： | 410600 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，包括卷室放（1）、收卷室（2）和十三个积木式真空室（3），第一、二个真空室为离子源轰击清洗室（31），第三个和第十个真空室为独立气体隔离室（32），第四个到第九个真空室为真空溅射室（33），第十一、十二个真空室为中频溅射室（34），第十三个真空室为检测室（35），卷室放（1）的一端与第一个积木式真空室连接，收卷室（2）与第十三个积木式真空室连接。本发明由于真空室采用积木式结构，可以根据工艺要求进行真空室功能拼装与增减，有利于达到工艺所需要求，与现有技术相比，具有结构新颖、简单、实用等特点，金属条带上的膜层质量的稳定，节省原材料及能耗，可长时间连续镀膜生产，效率高，适合大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 积木 结构 金属 条带 连续 卷绕 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种积木式结构的金属条带连续卷绕真空镀膜设备，包括卷室放、收卷室和积木式真空室，其特征是真空室分别为离子源轰击清洗室、独立气体隔离室、真空溅射室、中频溅射室和检测室，每个积木式真空室均有独立的真空系统，卷室放的一端与第一个积木式真空室连接，另一端与真空机组连接，收卷室与最后一个积木式真空室连接，另一端与真空机组连接。
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