[发明专利]统计分析方法和衬底处理系统

摘要

本发明涉及统计分析方法和衬底处理系统。一种数据分析方法，包括：从衬底处理装置接收监控数据；基于监控数据产生代表性值数据；将指示在产生监控数据时衬底处理装置的状况的装置状况信息与代表性值数据相关联；在数据库中存储代表性值数据以及与代表性值数据相关联的装置状况信息；从数据库获取代表性值数据以及与代表性值数据相关联的装置状况信息；将排除参数与所获取的装置状况信息相比较，该排除参数包括指示是否应当将所获取的代表性值数据包括在分析处理目标中的信息；以及基于比较结果确定是否将所获取的代表性值数据包括在分析处理目标中。

主权项

一种用于对存储在数据库中的监控数据执行分析处理的统计分析方法，所述监控数据接收自配置为处理衬底的衬底处理装置，所述方法包括：从所述衬底处理装置接收监控数据；基于所述监控数据产生代表性值数据；将所述代表性值数据与指示在产生所述监控数据时所述衬底处理装置的状况的装置状况信息相关联；在所述数据库中存储所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息；从所述数据库获取所述代表性值数据以及与所述代表性值数据相关联的所述装置状况信息；将排除参数与所获取的装置状况信息相比较，所述排除参数包括指示是否应当将与所述装置状况信息相关联的所述代表性值数据包括在统计分析目标中的信息；以及基于比较结果确定是否将所获取的代表性值数据包括在所述统计分析目标中。