[发明专利]检测装置无效
| 申请号： | 201110195145.8 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102331428A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 具昶根 | 申请（专利权）人： | 韩美半导体株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明在此揭示一种检测装置，晶片表面在一方向中连续形成拥有延伸条纹状的多个锯痕。该装置包括：一传输单元，其于一方向为连续及水平传送晶片；一相机，其配置在晶片的传送路径，及拍摄由该传输单元传送的晶片；一照明单元，其配置相对于该相机，且提供光给晶片以拍摄晶片；及一棱镜片，其位于该相机与该照明单元之间。在此，该棱镜片是于一方向拥有延伸条纹状的多个不平坦图案的表面上形成。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种检测装置，用于检测一方向拥有延伸条纹状的多个锯痕(SM)的表面上连续形成的晶片(W)，其特征在于，包括：一传输单元(10)，在一方向中连续及水平传送晶片(W)；一相机(20)，其配置在晶片(W)的传送路径，及拍摄由所述传输单元(10)传送的晶片(W)；一照明单元(30)，其相对于所述相机(20)的配置，且提供光给晶片(W)以拍摄晶片(W)；及一棱镜片(40)，其位于所述相机(20)与所述照明单元(30)之间，所述棱镜片(40)为于一方向拥有延伸条纹状的多个不平坦图案(41)的表面上连续形成。
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