[发明专利]校准标记及制造方法有效
| 申请号： | 201110204590.6 | 申请日： | 2011-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102280437A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王泰和;彭家纶;尤宏升 | 申请（专利权）人： | 旭曜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00;G01C15/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王一斌;王琦 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种校准标记，可将整片金属铜层或方阵排列金属铜层运用在校准标记的背景，也可将整片金属铜层或方阵排列金属铜层运用在校准标记的主体样式。同时，本发明还公开了一种校准标记制造方法，采用本发明公开的校准标记与制造方法能够有效提升液晶显示器驱动IC与面板压合的对准辨识成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 标记 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种校准标记，适用于集成电路制造的铜制程，其特征在于，包括：一背景样式，位于一第一介电层内，其中所述背景样式由金属铜层所组成，并且所述背景样式的表面覆盖一第二介电层；以及一标记主体样式，配置于所述第二介电层上，并位于所述背景样式涵盖区域的上方，其中，所述校准标记主体的材质为金属铝或铝铜合金所组成。
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