[发明专利]可挠性电子元件及其制造方法有效
申请号: | 201110217116.7 | 申请日: | 2011-07-22 |
公开(公告)号: | CN102280371A | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | 张展玮;方玮嘉;胡至仁 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/84;H01L23/14;G02F1/133 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种可挠性电子元件及其制造方法,制造方法包括下列步骤:藉由弱力介面层将可挠性基板贴于硬质基板。于可挠性基板上形成多个阵列排列的电子元件。将硬质基板分离为多个子基板,其中各子基板上分别具有一个电子元件。沿着电子元件的功能部的至少部分边缘对电子元件进行非接触性切割,以于电子元件的功能部与电子元件的拟部之间形成第一切割道。沿着第一切割道对可挠性基板与弱力介面层进行接触性切割,以于可挠性基板与弱力介面层中形成第二切割道,其中第二切割道使子基板的部分区域暴露。将功能部与位于功能部下方的可挠性基板从子基板取下。本发明提高了可挠性电子元件的制造良品率。 | ||
搜索关键词: | 可挠性 电子元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种可挠性电子元件的制造方法,其特征在于,包括:藉由一弱力介面层将一可挠性基板结合于一硬质基板上;于该可挠性基板上形成多个阵列排列的电子元件,各该电子元件分别具有一功能部以及一环绕该功能部的拟部;切割该可挠性基板与该硬质基板,以将该硬质基板分离为多个子基板,其中各该子基板上分别具有一个电子元件;沿着各该功能部的至少部分边缘对该电子元件进行一非接触性切割,以于各该功能部与对应的该拟部之间形成一第一切割道;沿着各该第一切割道对该可挠性基板与该弱力介面层进行一接触性切割,以于该可挠性基板与该弱力介面层中形成一第二切割道,其中该第二切割道使各该子基板的部分区域暴露;以及将各该功能部与位于各该功能部下方的可挠性基板从各该子基板取下。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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