[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及半导体装置有效
| 申请号： | 201110225029.6 | 申请日： | 2011-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102375336A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 藤田充;森田凉子;平田竜也 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种即使在铜或铜合金上也能形成不会引起变色的固化膜的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物来形成图案的固化浮雕图案的制造方法以及半导体装置。一种感光性树脂组合物，其包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、可作为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑组成的组中的至少一种树脂：100质量份、(B)嘌呤衍生物：以100质量份该(A)树脂为基准为0.01～10质量份、以及(C)感光剂：以100质量份该(A)树脂为基准为1～50质量份。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 浮雕 图案 制造 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、可作为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑及聚苯并噻唑组成的组中的至少一种树脂：100质量份、(B)嘌呤衍生物：以100质量份该(A)树脂为基准为0.01～10质量份、以及(C)感光剂：以100质量份该(A)树脂为基准为1～50质量份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成电子材料株式会社，未经旭化成电子材料株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110225029.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：线圈元件
- 下一篇：锁栓机构与包括锁栓机构的婴儿车
