[发明专利]探针卡及其制作方法无效
| 申请号： | 201110229503.2 | 申请日： | 2011-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN102384992A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 陈明坤;朱伟硕;蔡昭源 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种探针卡及其制作方法，该探针卡包括一载体以及多个探针。载体具有一上表面。这些探针配置于载体上，且排列于上表面。每一探针具有至少两依序相连的第一杆体部与第二杆体部。第一杆体部设置于上表面且与上表面之间具有一倾斜角。第一杆体部与第二杆体部的延伸方向之间具有一夹角。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡，包括：载体，具有上表面；以及多个探针，配置于该载体上，且排列于该上表面，其中每一探针具有多个依序相连的第一杆体部与第二杆体部，该第一杆体部设置于该上表面且与该上表面之间具有一倾斜角，该第一杆体部与第二杆体部的延伸方向之间具有一夹角。
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