[发明专利]用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具有效
| 申请号： | 201110231799.1 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102345171A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 黄春峰;李强 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/08;C23F1/32 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，可方便地调整压框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便将片架装配在支撑框上。调整压框的位置时，只需沿着连杆推动压框即可，调整方便。压框上安装有限位块，限制压框的移动距离，可防止用力过大时压坏硅片。使用本发明中的夹具，硅片碱腐蚀良率可达到99.8％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 腐蚀 加工 新型 夹具 | ||
【主权项】：
用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。
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