[发明专利]衬底处理系统、衬底处理装置和衬底处理装置的显示方法

摘要

本发明提供了一种衬底处理系统、衬底处理装置和衬底处理装置的显示方法，该衬底处理系统能够检测衬底处理装置的每个部件的条件的任何改变。在包括用于处理衬底的衬底处理装置和与之连接的群组管理装置的衬底处理系统中，衬底处理装置被配置成：获取监视数据，该监视数据至少表示衬底处理装置的每个部件的条件；聚集多个监视数据以生成监视数据的最大值、平均值和最小值中的至少一个值；并且向群组管理装置发送包数据。群组管理装置被配置成从衬底处理装置接收包数据并且在群组管理装置中可读取地存储包数据。

主权项

一种衬底处理装置，被配置成处理衬底，其中所述衬底处理装置：获取监视数据，所述监视数据至少表示所述衬底处理装置的每个部件的条件；并且生成包数据，所述包数据至少包括与从多个监视数据选择的第一监视数据相关联的最大值、平均值和最小值这三个计算数据。