[发明专利]蒸镀方法与蒸镀设备无效
| 申请号： | 201110242902.2 | 申请日： | 2011-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102888587A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 王庆钧;陈建志;黄智勇 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀方法与蒸镀设备。该蒸镀设备包括一腔体、至少一第一蒸镀源以及至少一第二蒸镀源。腔体具有一第一腔室、一第二腔室、一出口、一连通口、至少一第一入口与至少一第二入口。第一蒸镀源配置于第一入口，第二蒸镀源配置于第二入口。第一蒸镀源提供的一第一气体经由第一入口进入第一腔室。第二蒸镀源提供的一第二气体经由第二入口进入第一腔室，进入第一腔室的第一气体与该第二气体在第一腔室内混合后，经由连通口进入第二腔室，再经由出口离开第二腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀方法，包括：使一第一气体与一第二气体以临界流的状态进入第一腔室并混合；使混合后的该第一气体与该第二气体从该第一腔室进入一第二腔室；以及使该第二腔室内的混合后的该第一气体与该第二气体离开该第二腔室。
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