[发明专利]测量掩模板保护膜的工具及方法有效
| 申请号： | 201110250245.6 | 申请日： | 2011-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102445124A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 戴韫青;王剑;毛智彪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明测量掩模板保护膜的工具及方法解决了现有技术中由于无法检测保护膜尺寸导致的由于保护膜尺寸错误造成掩模板或设备损坏的问题，通过在掩模板盒上固定测量工具实现掩模板的图形保护膜尺寸的精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 模板 保护膜 工具 方法 | ||
【主权项】：
一种测量掩模板保护膜的工具及方法，一掩模板盒具有一盒盖、一底座板和一支架，所述支架固定在底座板上，将一掩模板固定在所述支架上，其特征在于，一测量工具的一侧表面形成有刻度，所述测量工具的另一侧表面具有两直角卡槽，通过两直角卡槽将测量工具固定在底座板上，使测量工具位于掩模板的一侧，且使测量工具与掩模板的一侧边缘平行，以对掩模板的图形保护膜进行测量。
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