[发明专利]非离子表面活性剂及其制备方法及用途、光刻胶显影液无效
| 申请号： | 201110260842.7 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102652910A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 李琳 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F17/40 | 分类号： | B01F17/40;B01F17/42;C08G65/28;G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明实施例公开了一种非离子表面活性剂及其制备方法及用途、光刻胶显影液，为提高光刻胶显影液的显影性而发明。本发明公开的非离子表面活性剂，为具有结构式1的物质；结构式1： |
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| 搜索关键词： | 离子 表面活性剂 及其 制备 方法 用途 光刻 显影液 | ||
【主权项】：
1.一种非离子表面活性剂，其特征在于，所述非离子表面活性剂为具有结构式1的物质；结构式1：![]()
在结构式1中：R1代表氢、烷基、烷氧基、芳香基或卤素，R2代表氢、烷基、烷氧基、芳香基或卤素；n1为5至20的整数；n2为4至15的整数；m1为5至23的整数；m2为4至18的整数。
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