[发明专利]输送装置、处理系统以及输送装置的控制方法

摘要

本发明提供一种输送装置、处理系统以及输送装置的控制方法。该输送装置在减压环境下也能够对接触到障碍物的情况进行检测。其包括：支承构件(71)，其能够前进后退，用于支承输送体(G)；传感器(8)，其用于在支承构件前进时、对支承构件的顶端接触到障碍物的情况进行检测，传感器(8)包括：第1导电环(81)，其以接地的状态设在支承构件(71)的顶端，并具有挠性；第2导电环(82)，其以与第1导电环(81)分开的方式设在第1导电环(81)的内侧；检测器，其用于在第1导电环(81)与障碍物接触而变形并接触到第2导电环(82)时、对第1导电环(81)与第2导电环(82)短路的情况进行检测。

主权项

一种输送装置，其用于对输送体进行输送，其特征在于，其包括：支承构件，其能够前进后退，用于支承上述输送体；传感器，其用于在上述支承构件前进时、对上述支承构件的顶端接触到障碍物的情况进行检测；上述传感器包括：第1导电环，其以接地的状态设在上述支承构件的顶端，并具有挠性；第2导电环，其以与上述第1导电环分开的方式设在上述第1导电环的内侧；检测器，其用于在上述第1导电环与上述障碍物接触而变形并接触到上述第2导电环时、对上述第1导电环与上述第2导电环短路的情况进行检测。