[发明专利]光刻机的支撑结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201110266215.4 | 申请日： | 2011-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102998906A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;周瑞良;阎涛;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光刻机的支撑结构及其制作方法。支撑结构包括外围板。外围板包括第一面、第二面和折弯边。第二面连接于第一面。第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边，折弯边具有折弯槽，第一面与第二面在折弯槽处折弯，形成一夹角。第一面和第二面具有多块板材通过焊接连接而成。本发明采用折弯板材来代替部分焊接结构，这种方式将更适合多面体较复杂的几何外形的支撑结构，改善了制造工艺，缩短焊接制造周期。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 支撑 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机的支撑结构，包括外围板，其特征是，所述外围板包括：第一面；第二面，连接于所述第一面；所述第一面与第二面连接处的板材通过折弯形成折弯边；所述折弯边具有折弯槽，所述第一面与所述第二面在所述折弯槽处折弯，形成夹角；所述第一面和第二面均由多块板材通过焊接连接而成。
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