[发明专利]切割/芯片接合薄膜有效
申请号: | 201110276306.6 | 申请日: | 2011-09-13 |
公开(公告)号: | CN102399505A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 天野康弘;盛田美希;木村雄大 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C09J9/02;H01L21/68 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 王海川;穆德骏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种切割/芯片接合薄膜,其具有不易引起剥离带电并且胶粘性、作业性良好的芯片接合薄膜。一种在切割薄膜上设置有热固型芯片接合薄膜的切割/芯片接合薄膜,其中,热固型芯片接合薄膜含有导电性粒子,热固型芯片接合薄膜的体积电阻率为1×10-6Ω·cm以上且1×10-3Ω·cm以下,并且,热固型芯片接合薄膜热固化前在-20℃下的拉伸储能弹性模量为0.1GPa~10GPa。 | ||
搜索关键词: | 切割 芯片 接合 薄膜 | ||
【主权项】:
一种切割/芯片接合薄膜,其中,在切割薄膜上设置有热固型芯片接合薄膜,其特征在于,所述热固型芯片接合薄膜含有导电性粒子,所述热固型芯片接合薄膜的体积电阻率为1×10‑6Ω·cm以上且1×10‑3Ω·cm以下,并且,所述热固型芯片接合薄膜热固化前在‑20℃下的拉伸储能弹性模量为0.1GPa~10GPa。
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