[发明专利]类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110277261.4 | 申请日： | 2011-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102994947A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王立平;亓健伟;王云锋;薛群基 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法，采用双靶磁控溅射技术在不锈钢基底上交替沉积类金刚石层和二硫化钼层，最终获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜。类金刚石单层厚度为10～100nm，二硫化钼单层厚度为10-100nm，类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜总厚度为1.5～6μm。本发明制得的纳米多层薄膜不仅改善了软质二硫化钼薄膜的耐磨寿命不足和摩擦系数环境敏感性问题，同时解决了硬质类金刚石薄膜脆性大和韧性差等问题，在高真空环境下的磨损率较传统的二硫化钼或类金刚石薄膜降低1-2个数量级，实现了超低摩擦以及高硬度与韧性的完美匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 复合 二硫化钼 纳米 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜，其特征在于该薄膜镀覆在不锈钢表面上，薄膜由高硬度类金刚石薄膜和二硫化钼润滑膜多层交替构成；类金刚石薄膜单层厚度为10～100nm，层数为10‑100层，二硫化钼润滑膜单层厚度为10‑100nm，层数为10‑100层；类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜总厚度为1.5～6μm，硬度为12‑18GPa。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院兰州化学物理研究所，未经中国科学院兰州化学物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110277261.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：器械支撑架
- 下一篇：一种可任意调整安装角度的齿轮油泵
- 同类专利
- 专利分类
