[发明专利]四氟化硅的制备方法无效
| 申请号： | 201110280075.6 | 申请日： | 2011-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102351198A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张月和;薛明;蔡春立;李青娟;李占良;孙仲刚;窦义虎 | 申请（专利权）人： | 六九硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种四氟化硅的制备方法，包括以下步骤：液态氟化氢与Si源在浓硫酸的作用下反应，得到四氟化硅。本发明以液态氟化氢为原料，减少了原料中水的含量，降低了水分对生成的四氟化硅的影响，从而提高了四氟化硅的纯度。另外，与氟化氢气体相比，液态氟化氢为原料能够减少氟化氢损耗，减少生成的四氟化硅中氟化氢杂质的含量，提高四氟化硅的纯度。进一步的，本发明首先将Si源与浓硫酸混合均匀，再向其中加入液态氟化氢进行反应，能够减少氟化氢挥发，提高氟化氢的利用率，提高得到的四氟化硅的纯度。实验表明，采用本发明提供的方法制备得到的四氟化硅的纯度为96wt％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种四氟化硅的制备方法，包括以下步骤：a)液态氟化氢与Si源在浓硫酸的作用下反应，得到四氟化硅。
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