[发明专利]小型化支撑微调装置及其运用无效
| 申请号： | 201110283925.8 | 申请日： | 2011-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103014648A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 陈华夫 | 申请（专利权）人： | 力鼎精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵;韩龙 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种小型化支撑微调装置，其具有例如8cmx5cmx4cm的体积，可支撑具有数百公斤重的物体，并可实现微米等级(10-6m)的微调。此装置利用基座、滑座、滑块及调整螺栓等简单机构组件的组合以进行X、Y、Z三轴方向的微调以定位调整螺栓，并可达到结构小型化及低制造成本的目的。本发明亦有关于一种小型化支撑微调装置的运用。 | ||
| 搜索关键词： | 小型化 支撑 微调 装置 及其 运用 | ||
【主权项】：
一种小型化支撑微调装置，具有可在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向分别进行微调的组件以支撑重物。
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