[发明专利]三维微位相差膜的检测方法及系统有效
申请号: | 201110286059.8 | 申请日: | 2011-09-24 |
公开(公告)号: | CN102445278A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 洪群泰;黄献颐 | 申请(专利权)人: | 明基材料有限公司;明基材料股份有限公司 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215121 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明关于一种三维微位相差膜的检测方法,包含下列步骤:(A)接收对应于一个待检测的三维微位相差膜的一个待检测的微结构影像,其中,该待检测的微结构影像包括多个像素;(B)根据该待检测的微结构影像的该多个像素分别对应的多个第一色阶,求得对应于该待检测的微结构影像的一个第一色阶分布资讯;(C)根据步骤(B)所求得的该第一色阶分布资讯,配合一个第一标准色阶分布资讯,求得一个第一色差指标;及(D)输出对应于步骤(C)所求得的该第一色差指标的检测结果。 | ||
搜索关键词: | 三维 相差 检测 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种三维微位相差膜的检测方法,利用一个处理单元配合一个影像撷取单元来执行,该影像撷取单元用以撷取对应于一个待检测的三维微位相差膜的一个待检测的微结构影像,其特征在于该方法包含下列步骤:(A)接收该待检测的微结构影像,其中,该待检测的微结构影像包括多个像素;(B)根据该待检测的微结构影像的该多个像素分别对应的多个第一色阶,求得对应于该待检测的微结构影像的一个第一色阶分布资讯;(C)根据步骤(B)所求得的该第一色阶分布资讯,配合一个第一标准色阶分布资讯,求得一个第一色差指标;及(D)输出对应于步骤(C)所求得的该第一色差指标的检测结果。
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