[发明专利]一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置

摘要

本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T_0°；2)根据1)中测得的透射率T_0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和；3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；4)计算偏振特性因子p；5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；6)计算测试样品S光和P光的透射率T_S和T_P。与现有技术相比，本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响，提高了测量精度，而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换，降低了对偏振器的精度要求，从而降低了测量成本。

主权项

1.一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T_0°；2)根据1)中测得的透射率T_0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和4)计算偏振特性因子p，计算公式为：p=Tα,Sm-Tα,SmTα,Sc-Tα,Pc.]]>5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和6)计算测试样品S光和P光的透射率T_S和T_P，计算公式为：TS=12[(TSm+TPm)+1p(TSm-TPm)]TP=12[(TSm+TPm)-1p(TSm-TPm)].]]>