[发明专利]用于检验带有斜面的物体的方法及系统有效
| 申请号： | 201110293912.9 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102445418A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | Z·本-埃泽尔 | 申请（专利权）人： | 卡姆特有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/15 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王朝辉 |
| 地址： | 以色列米格*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种检验系统和方法。该方法可以包括：用第一偏振的入射光照射物体；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号；以及，检测基于偏振的滤波光信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检验 带有 斜面 物体 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：用第一偏振的入射光照射物体；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号；以及检测基于偏振的滤波光信号。
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