[发明专利]用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管有效
| 申请号： | 201110294192.8 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103035465A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;王迪 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 汪洋;顾珊 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管。所述真空套管为圆环形结构，所述真空套管的内径与关键尺寸扫描电子显微镜的载物台上设置的定位销相匹配，所述真空套管的硬度小于待测晶片的硬度。通过将根据本发明的真空套管安装在关键尺寸扫描电子显微镜的定位销上可以保护待测晶片边缘的定位槽免受损坏，从而提高了晶片的出货质量，降低了生产成本。此外，根据本发明的真空套管还具有结构简单、安装方便和便于加工等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 关键 尺寸 扫描 电子显微镜 真空 套管 | ||
【主权项】：
一种用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管，其特征在于，所述真空套管为圆环形结构，所述真空套管的内径与关键尺寸扫描电子显微镜的载物台上设置的定位销相匹配，所述真空套管的硬度小于待测晶片的硬度。
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