[发明专利]一种包覆热压制备砷靶材的方法

摘要

本发明提供了一种利用金属模具包覆热压制备物理气相沉积用砷靶材的方法。砷靶材的制备工艺为：在惰性气体气氛保护下利用液压式粉末压片机将颗粒状砷原料初步冷压成型，压片机的压力为20~40MPa，初始冷压后砷靶材的相对密度在85~92%之间。之后利用黄铜或低碳钢模具对冷压成型后的砷进行包覆，并对模具进行密封。最后对包覆的金属模具进行热压致密化过程，热压温度为400~600℃，热压压力为400~600MPa。砷的热压过程进行完毕之后，自然冷却并在惰性气体气氛保护下将包覆模具内的砷靶材取出。测试结果表明，采用上述包覆热压工艺制备的砷靶材，其相对密度可达99.5~99.9%，且未在靶材内引入新的杂质。

主权项

一种包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于具体制备步骤包括如下：（1）砷的冷压成型：在惰性气体气氛保护下，将高纯砷压制成片状；（2）砷的热压致密化：在惰性气体气氛保护下，将冷压成型后的片状砷靶材放入金属模具内，并在靶材和金属模具之间放入隔离剂，之后对金属模具进行密封，然后在大气条件下，将密封完成后的金属模具放入热压模具内，并待热压模具加热至一定温度后对热压模具内的金属模具进行热压；（3）冷却及脱模过程：将步骤（2）中的热压模具停止热压并使金属模具自然冷却，将金属模具从热压模具内取出，并在惰性气体气氛保护下将砷靶材从金属模具中取出，得到致密化的砷靶材。