[发明专利]分割方法

摘要

本发明提供一种分割方法，其能够提高通过蓝宝石晶片的分割而形成的发光器件的辉度。本发明的分割方法构成为具有如下工序：切削槽形成工序，在该切削槽形成工序中，在表面上层叠有发光层(412)的蓝宝石晶片(W)的背面(Wb)形成沿着分割预定线的切削槽(401)；变质层形成工序，在该变质层形成工序中，在蓝宝石晶片(W)的内部形成沿着分割预定线的变质层(402)；以及分割工序，在该分割工序中，以变质层(402)为起点将蓝宝石晶片(W)分割为一个个发光器件(411)，以使各发光器件(411)的背面侧的角部形成为利用在切削槽形成工序中形成的切削槽(401)进行了倒角的状态。

主权项

一种蓝宝石晶片的分割方法，其为沿分割预定线分割蓝宝石晶片的蓝宝石晶片的分割方法，所述蓝宝石晶片在表面上层叠有发光层，并且在该发光层中，在由呈格子状地形成的多个所述分割预定线划分出的各区域形成有发光器件，该蓝宝石晶片的分割方法的特征在于，该蓝宝石晶片的分割方法包括以下工序：变质层形成工序，在该变质层形成工序中，通过从所述蓝宝石晶片的背面侧沿所述分割预定线照射相对于蓝宝石晶片具有透射性的波长的激光束，从而沿该分割预定线在蓝宝石晶片内部形成变质层；切削槽形成工序，在该切削槽形成工序中，利用切削刀具从所述蓝宝石晶片的背面侧切削该蓝宝石晶片，从而沿所述分割预定线形成切削槽，由此对所述发光器件实施倒角加工；以及分割工序，在该分割工序中，在实施了所述变质层形成工序和所述切削槽形成工序后，以所述变质层作为分割起点，沿所述分割预定线将所述蓝宝石晶片分割为一个个的发光器件。