[发明专利]工作粘附卡盘装置及工件贴合机

摘要

本发明提供一种工作粘附卡盘装置及工件贴合机，其容易构成粘附部件与剥离部件的单元化的同时，提高剥离性能。本发明中，将剥离部件(2)的安装凸部(2c)以无法向变形部(2a)的变形方向移动的方式夹入支承部件(3)的侧面(3b)与环状部件(4)的卡止凹部(4a)之间，并且将粘附部件(1)与变形部(2a)的外边邻接而安装于环状部件(4)的安装面(4b)，从而通过环状部件(4)被一体地组装剥离部件(2)、支承部件(3)及粘附部件(1)。而且，由于变形部(2a)和粘附面(1a)相互邻接而非常靠近地配置，因此在通过变形部(2a)的变形来剥离被粘附保持于粘附面(1a)的板状工件(W)时，可以得到较大的剥离力，且剥离时在板状工件(W)中产生的挠曲被抑制到最小限度。

主权项

一种工件粘附卡盘装置，其特征在于，具备：粘附部件，被设置成与板状工件对置且装卸自如地粘附保持该板状工件；剥离部件，被设置成向与所述板状工件交叉的方向变形来使所述板状工件从所述粘附部件的粘附面强制性地剥离；支承部件，被设置于所述剥离部件的背后且具有沿所述剥离部件的表面及侧面；及环状部件，被设置成包围所述支承部件的所述侧面的外周，所述剥离部件具有：变形部，被形成为可沿所述支承部件的所述表面变形；安装凸部，被形成为从该变形部的外周沿所述支承部件的所述侧面朝向所述环状部件突出；及卡合槽，嵌合在所述支承部件的所述侧面形成的卡合凸部，所述环状部件具有：卡止凹部，将所述剥离部件的所述安装凸部以无法向所述变形部的变形方向移动的方式夹入所述支承部件的所述侧面及所述卡合凸部之间；及安装面，与所述变形部的外边邻接而被安装所述粘附部件。