[发明专利]样品检验系统以及使用所述样品检验系统检验样品的方法无效
| 申请号： | 201110322464.0 | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102539447A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 姜元求;李镇焕 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N23/22;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种检验系统。所述检验系统包括：第一光学检验装置，其用以在宏观级或中观级下放大并观测样品；第二光学检验装置，其与所述第一光学检验装置通信且用以在微观级下放大并观测样品；扫描电子检验装置，其与所述第一光学检验装置以及所述第二光学检验装置通信且用以通过用电子束扫描样品而放大并观测所述样品；以及机器人臂，其用以将样品携带到所述第一光学检验装置、所述第二光学检验装置以及所述扫描电子检验装置。因此，可精确地检验样品，使有缺陷样品通过的可能性较小。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 检验 系统 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种检验系统，其包括：第一光学检验装置，其用以在宏观级或中观级下放大并观测样品；第二光学检验装置，其与所述第一光学检验装置通信且用以在微观级下放大并观测样品；扫描电子检验装置，其与所述第一光学检验装置以及所述第二光学检验装置通信且用以通过用电子束扫描样品而放大并观测所述样品；以及机器人臂，其用以将样品携带到所述第一光学检验装置、所述第二光学检验装置以及所述扫描电子检验装置。
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