[发明专利]一种紫外激光蚀刻机无效
| 申请号： | 201110338390.X | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102500929A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 段光前;龚志伟;徐延 | 申请（专利权）人： | 武汉先河激光技术有限公司;黄石瑞视光电技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42;C03C15/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种紫外激光蚀刻机，包括机座，机座上安放有吸附平台和垂直升降机构，垂直升降机构上安放有紫外激光器。本发明解决了传统工艺的难题，其蚀刻线宽可控制在≤0.05mm以内，范围达600×600mm，蚀刻速度高达≤7000mm/S，特别适用在大面积ITO膜/玻璃上精细蚀刻各种图形和尺寸，实现了触摸屏和LCD屏的规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 激光 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种紫外激光蚀刻机，其特征在于，包括机座，机座上安放有吸附平台和垂直升降机构，垂直升降机构上安放有紫外激光器。
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