[发明专利]一种测量微蚀速率的方法无效
| 申请号： | 201110339917.0 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102507365A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 范铮;刘良军;杨智勤 | 申请（专利权）人： | 深南电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/04 | 分类号： | G01N5/04 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 彭愿洁;李文红 |
| 地址： | 518000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种测量微蚀速率的方法，以降低测量成本和提高测量精度。所述方法包括以下次序的步骤：(1)测量待测铜板的面积S；(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。本发明实施例提供的方法操作简便，在降低测量成本的同时可以精确测量出微蚀速率，如此，可以通过控制微蚀时间严格控制微蚀量，比较容易达到印制电路板或基板制作中的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 速率 方法 | ||
【主权项】：
一种测量微蚀速率的方法，其特征在于，所述方法包括以下次序的步骤：(1)测量待测铜板的面积S；(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。
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