[发明专利]正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法有效

专利信息
申请号: 201110346718.2 申请日: 2011-11-07
公开(公告)号: CN102566273A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 陈凯民;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368;H01L21/77
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 胡红芳
地址: 中国台湾台南市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是提供一种耐裂缝性佳的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。前述树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、含环氧丙烷基的环氧树脂(B)、邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C)以及溶剂(D),其中,该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1),该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得。
搜索关键词: 感光性 树脂 组成 及其 形成 图案 方法
【主权项】:
一种正型感光性树脂组成物,其特征在于,包含如下组分:酚醛清漆树脂(A);含环氧丙烷基的环氧树脂(B);邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C);以及溶剂(D);其中,该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A‑1),该羟基型酚醛清漆树脂(A‑1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得,且基于酚醛清漆树脂(A)100重量份,该羟基型酚醛清漆树脂(A‑1)的使用量为30~100重量份。
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