[发明专利]三维半导体器件无效
申请号: | 201110347712.7 | 申请日: | 2011-11-07 |
公开(公告)号: | CN102468280A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 李昌炫;孙炳根;朴赞真;赵慧珍;张盛壹 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L27/115;H01L23/528 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种三维半导体器件。该三维半导体存储器件包括:在下结构上的上结构,该上结构包括导电图案;半导体图案,穿过上结构连接到下结构;以及绝缘间隔物,在半导体图案与上结构之间,绝缘间隔物的底表面位于等于或高于下结构的最高表面的竖直水平面。 | ||
搜索关键词: | 三维 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种三维半导体存储器件,包括:在下结构上的上结构,所述上结构包括导电图案;半导体图案,穿过所述上结构连接到所述下结构;以及绝缘间隔物,在所述半导体图案与所述上结构之间,所述绝缘间隔物的底表面位于等于或高于所述下结构的最高表面的水平面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110347712.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类