[发明专利]对位装置及对位方法

摘要

本发明提供即使在所拍摄的检查对象的图像偏离于检查区域时也能缩短检查对象的对位所需的检索时间、能抑制检查时间的增加的对位装置及对位方法。对位装置包括：拍摄用来检查测量的基板图像的摄像部；存储部，存储被设定了进行检查测量的测量部位的高倍制程程序图像及具有范围比高倍制程程序图像大的视场区域的低倍制程程序图像；检索倍率与高倍制程程序图像相等的检查图像在低倍制程程序图像内的位置的检索部；当检索的结果为测量部位偏离于检查图像的视场区域内时计算出包含检查图像及测量部位的位置的位置信息的计算部；根据计算部所计算出的位置信息移动了摄像部以使测量部位进入检查图像的视场区域内之后使摄像部拍摄检查图像的控制部。

主权项

一种对位装置，其用于进行用来检查测量的基板的对位，其特征在于，上述对位装置包括：摄像部，其用于拍摄上述基板的图像；存储部，其用于存储利用上述摄像部拍摄的高倍制程程序图像、以及利用上述摄像部拍摄的低倍制程程序图像，该高倍制程程序图像被设定了用于进行上述检查测量的测量部位，该低倍制程程序图像包含上述高倍制程程序图像的视场区域，并具有范围比该高倍制程程序图像大的视场区域；检索部，其用于检索倍率与上述存储部所存储的上述高倍制程程序图像相等的、利用上述摄像部拍摄的用于进行上述检查测量的检查图像在上述低倍制程程序图像内的位置；计算部，在上述检索部的检索的结果为上述测量部位偏离于上述检查图像的视场区域内的情况下，该计算部用于计算出包含该检查图像及上述测量部位的位置在内的位置信息；以及控制部，其根据上述计算部所计算出的上述位置信息，移动了上述摄像部以使上述测量部位进入上述检查图像的视场区域内，之后使上述摄像部拍摄检查图像。