[发明专利]湿度调节系统有效
| 申请号： | 201110359578.2 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102444944A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 陈昭文 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F5/00 | 分类号： | F24F5/00;F24F6/12 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 姜燕;邢雪红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括机台工作区与外围区，其中外围区大体环绕机台工作区，而机台工作区具有气体入口与气体出口，并通过气体入口与气体出口连通至外围区。此湿度调节系统包括高压喷雾装置，配置于无尘室的外围区而邻近气体出口，用以提供雾气，以对自机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。本发明在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热。此外，本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 调节 系统 | ||
【主权项】：
一种湿度调节系统，适用于一无尘室，该无尘室包括一机台工作区与一外围区，该外围区环绕该机台工作区，且该机台工作区具有一气体入口与一气体出口，并通过该气体入口与该气体出口连通至该外围区，而该湿度调节系统包括一高压喷雾装置，配置于该外围区而邻近该气体出口，适于提供一雾气，以对自该机台工作区流向该外围区的一气体进行降温及加湿。
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