[发明专利]光致抗蚀剂膜的剥离液组合物无效
| 申请号： | 201110367662.9 | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102411269A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张军;常积东;李承孝 | 申请（专利权）人： | 西安东旺精细化学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂膜的剥离液组合物，包括有机碱、有机溶剂、防腐蚀剂和水。光致抗蚀膜剂的剥离液组合物，该组合物按质量百分比计包括：5-50wt％的有机碱，1-60wt％的有机溶剂，0.5-15wt％的防腐蚀剂，其余为水。本发明的剥离液尤其适用于厚度为100μm以上的厚干膜的剥离，可以在较低温度(55-75℃)、较短时间(＜30min)条件下，完全剥离厚干膜。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂膜 剥离 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂膜的剥离液组合物，其特征在于：该组合物按质量百分比计包括：(1)有机碱，含量为5‑50wt％；(2)有机溶剂，含量为1‑60wt％；(3)防腐蚀剂，含量为0.5‑15wt％；(4)余量为水。
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