[发明专利]一种多晶硅反应炉清洗装置

摘要

本发明公开了一种全棉面料多晶硅反应炉清洗装置，包括：圆盘形承接盘、贯通口、排液口、喷嘴装置、活动装置、洗刷装置，所述承接盘水平设置在反应炉内，所述贯通口沿铅直方向设置在承接盘的中央部，承接盘一侧设置有排液口，承接盘的外周部设有凸缘部，所述贯通口一端连接有轴，所述轴端部设置有喷嘴装置及洗刷装置，所述洗刷装置与轴之间通过活动装置连接。本发明可无遗漏地将清洗水直接喷到反应炉内壁面的整个区域，通过清洗装置有效并完全去除附着物，该多晶硅反应炉清洗装置高效率且可靠。

主权项

一种多晶硅反应炉清洗装置，其特征在于，包括：圆盘形承接盘(1)、贯通口(2)、排液口(3)、喷嘴装置(5)、活动装置(6)、洗刷装置(7)，所述承接盘(1)水平设置在反应炉内，所述贯通口(2)沿铅直方向设置在承接盘(1)的中央部，承接盘一侧设置有排液口(3)，承接盘(1)的外周部设有凸缘部(4)，所述贯通口一端连接有轴(8)，所述轴(8)端部设置有喷嘴装置及洗刷装置，所述洗刷装置与轴(8)之间通过活动装置连接。