[发明专利]支撑装置及采用该支撑装置的真空镀膜机在审
申请号: | 201110375597.4 | 申请日: | 2011-11-23 |
公开(公告)号: | CN103132041A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 林君鸿 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种支撑装置,其用于支撑工件,该支撑装置包括基板、装设件,以及多个调整件,该基板上开设有收容孔,该装设件装设于该收容孔中,该多个调整件装设于该装设件上并抵持于该基板上且能够调整该装设件相对该基板的高度与倾角。本发明还提供一种采用该支撑装置的真空镀膜机。由于该支撑装置采用了调整件,通过该多个调整件可调整该装设件相对于该基板的高度与倾角,进而可改善该真空镀膜机对工件镀膜的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 支撑 装置 采用 真空镀膜 | ||
【主权项】:
一种支撑装置,其用于支撑工件,该支撑装置包括基板,该基板上开设有收容孔,其特征在于:该支撑装置还包括装设件,以及多个调整件,该装设件装设于该收容孔中,该多个调整件装设于装设件上并抵持于基板上且能够调整该装设件相对该基板的高度与倾角。
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