[发明专利]检验基板的方法有效
| 申请号： | 201110376484.6 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN102538681A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 郑仲基 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾红霞;何胜勇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检验基板的方法。该检验基板的方法包括：使多个投射部依次将图案光束投射在形成有目标物的基板上，以获得与所述基板有关的每个投射部的相位数据；利用所述每个投射部的相位数据来获得与所述基板有关的每个投射部的高度数据；将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部；以所述基准投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据；以及利用修正后的高度数据获得整合高度数据。 | ||
| 搜索关键词： | 检验 方法 | ||
【主权项】：
一种检验基板的方法，包括：使多个投射部依次将图案光束投射在形成有目标物的基板上，以获得与所述基板有关的每个投射部的相位数据；利用所述每个投射部的相位数据来获得与所述基板有关的每个投射部的高度数据；将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部；以所述基准投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据；以及利用修正后的高度数据获得整合高度数据。
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