[发明专利]气相外延装置有效
| 申请号： | 201110382874.4 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103132138A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 涂火金 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/14;C30B25/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种气相外延装置，包括：底板、上盖板、位于底板和上盖板之间的侧壁和位于底板上的基板，所述底板、上盖板、侧壁和基板构成反应腔室，还包括：位于侧壁下端等夹角分布的至少4个的排气口，用于排出反应腔室内的气体；位于上盖板上与基板相对设置的加热装置，所述加热装置上分布有若干加热灯管。本发明实施例的气相外延装置提高外延层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 装置 | ||
【主权项】：
一种气相外延装置，包括：底板、上盖板、位于底板和上盖板之间的侧壁和位于底板上的基板，所述底板、上盖板、侧壁和基板构成反应腔室，其特征在于，还包括：位于侧壁下端等夹角分布的至少4个的排气口，用于排出反应腔室内的气体；位于上盖板上与基板相对设置的加热装置，所述加热装置上分布有若干加热灯管。
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