[发明专利]蒸镀设备以及蒸镀方法

摘要

一种蒸镀设备以及蒸镀方法，用于处理基板，基板具有基板对位标记，蒸镀设备包括遮罩、蒸镀源、磁性板以及至少一对位检测装置。遮罩位于基板的下方，遮罩具有多个侧边，且任两个相邻的侧边之间具有转角区域，遮罩的其中一转角区域中具有遮罩对位标记，且遮罩对位标记对应基板对位标记设置，且该遮罩对位标记具有第一部份以及第二部分。蒸镀源位于遮罩的下方。磁性板位于基板的上方。对位检测装置对应基板对位标记与遮罩对位标记设置，且对位检测装置的检测方向与基板的表面之间具有锐角夹角θ，所述对位检测装置藉由基板对位标记与遮罩对位标记的第一部份之间的对位以及基板对位标记与遮罩对位标记的第二部份的对位，以确定基板与遮罩彼此对准。

主权项

一种蒸镀设备，用于处理一基板，该基板具有一基板对位标记，其特征在于，该蒸镀设备包括：一遮罩，位于该基板的下方，该遮罩具有多个侧边，且任两个相邻的侧边之间具有一转角区域，其中该遮罩的其中一转角区域中具有一遮罩对位标记，该遮罩对位标记对应该基板对位标记设置，且该遮罩对位标记具有一第一部份以及一第二部分；一蒸镀源，位于该遮罩的下方：一磁性板，位于该基板的上方；以及至少一对位检测装置，其中该对位检测装置对应该基板对位标记与该遮罩对位标记设置，且该对位检测装置的一检测方向与该基板的一表面之间具有一锐角夹角θ，该对位检测装置藉由该基板对位标记与该遮罩对位标记的该第一部份之间的对位以及该基板对位标记与该遮罩对位标记的该第二部份的对位，以确定该基板与该遮罩彼此对准。