[发明专利]一种X射线传感器的制作方法

摘要

本发明公开了一种X射线传感器的制作方法，该方法包括：在基板上制备至少两条栅极扫描线；在基板和栅极扫描线上依次沉积栅绝缘层、有源层薄膜、欧姆接触层薄膜、第一导电层薄膜、光电转换层薄膜，制备与栅极扫描线交叉的至少两条数据线、光电感应器件和开关器件；制备覆盖光电感应器件和开关器件的第一钝化层，在第一钝化层上制备过孔，过孔位于光电感应器件区域内的选定位置处；在第一钝化层上面，与数据线和开关器件对应的位置上制备偏压线，偏压线通过过孔与光电感应器件电连接；制备覆盖偏压线和第一钝化层的第二钝化层。采用本发明中的方法降低了产品成本，提高了良品率和设备产能。

主权项

一种X射线传感器的制作方法，其特征在于，包括：在基板上制备至少两条栅极扫描线；每条所述栅极扫描线作为所述X射线传感器中一行像素单元包括的开关器件的栅极；在所述基板和栅极扫描线上依次沉积栅绝缘层、有源层薄膜、欧姆接触层薄膜、第一导电层薄膜、光电转换层薄膜；对所述有源层薄膜、欧姆接触层薄膜、第一导电层薄膜、光电转换层薄膜采用一道灰色调掩模工艺进行处理，得到与所述栅极扫描线交叉的至少两条数据线、光电感应器件和开关器件，每条所述数据线作为所述X射线传感器中一列像素单元包括的开关器件的漏极，所述开关器件的源极与光电感应器件的负电极连接；制备覆盖所述光电感应器件和开关器件的第一钝化层，在所述第一钝化层上制备过孔，所述过孔位于光电感应器件区域内的选定位置处；在第一钝化层上面，与所述数据线和开关器件对应的位置上制备偏压线，所述偏压线通过所述过孔与光电感应器件电连接；制备覆盖所述偏压线和所述第一钝化层的第二钝化层。