[发明专利]基于光刻工艺窗口的OPC修正方法有效
| 申请号： | 201110415310.6 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103163728A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈福成 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/36 | 分类号： | G03F1/36 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光刻工艺窗口的OPC修正方法，该方法对光刻版图中的不同图形，在计算图形的边缘位置误差时，依据图形测量点的光罩误差加强因子、光强最大值、光强最小值和斜率，使用不同的光刻模型权重。该方法通过判定版图中的图形特点及图形周围环境，对图形设定可变的权重，避免了在光刻工艺窗口的边缘时，因光刻图形的变化而引起的OPC修正误差。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光刻 工艺 窗口 opc 修正 方法 | ||
【主权项】：
一种基于光刻工艺窗口的OPC修正方法，其特征在于，对光刻版图中的不同图形，在计算图形的边缘位置误差时，设定不同的光刻模型权重。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
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