[发明专利]平坦水平检查设备及使用所述设备来检查平坦水平的方法

摘要

一种平坦水平检查设备及使用所述设备来检查平坦水平的方法。所提供的设备包含：夹盘，其经配置以支撑并固定待检查对象；测量单元，其包含喷嘴；提升模块，其经配置以提升喷嘴；移动单元，其经配置以水平且相对地移动夹盘和喷嘴；以及计算单元，其经配置以使用由测量单元测得且视喷嘴与待检查对象的表面的特定点之间间隔的距离的变化而定的电压值，将在扫描待检查对象的表面的同时测得的实际测得的电压值计算为待检查对象的表面高度值，且将待检查对象的所计算的表面高度值彼此相对比较，从而确定平坦水平。因此，平坦水平检查设备可在不接触对象的情况下检查待检查对象的平坦水平，以防止对象被刮伤或因污染而损坏。

主权项

一种平坦水平检查设备，其包括：夹盘，其经配置以支撑并固定待检查对象；测量单元，其包括喷嘴，所述喷嘴经配置以将流体喷射到所述待检查对象的表面上，所述测量单元经配置以检测从所述喷嘴喷射的所述流体的喷射压力视所述喷嘴与所述待检查对象之间间隔的距离而定的变化，从而将所述检测到的喷射压力值转换为电压值；提升模块，其经配置以提升所述喷嘴；移动单元，其经配置以水平移动所述夹盘和所述喷嘴中的至少一者，所述移动单元经配置以水平且相对地移动所述夹盘和所述喷嘴；以及计算单元，其经配置以使用由所述测量单元测得且视所述喷嘴与所述待检查对象的所述表面的特定点之间间隔的距离的变化而定的电压值，将在扫描所述待检查对象的所述表面的同时测得的实际测得的电压值计算为所述待检查对象的表面高度值，且将所述待检查对象的所述所计算的表面高度值彼此相对比较，从而确定平坦水平。