[发明专利]组件、用于制造组件的方法和用于激光烧蚀的装置有效
| 申请号： | 201110433760.8 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102530826A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | F-P·卡尔茨 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;B23K26/36 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;卢江 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及组件(100)，具有衬底(90)、涂层(10)，其中，涂层(10)至少部分覆盖衬底(90)以及其中涂层(10)被构造用于至少部分地借助激光烧蚀被剥蚀，其中，在衬底(90)与涂层(10)之间至少部分地构造激光探测层(20)，以产生结束激光烧蚀的探测信号(54)。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 用于 制造 方法 激光 装置 | ||
【主权项】：
组件(100)，具有‑衬底(90)，‑涂层(10)，其中，涂层(10)至少部分覆盖衬底(90)以及其中涂层(10)被构造用于至少部分地借助激光烧蚀被剥蚀，其特征在于，在衬底(90)与涂层(10)之间至少部分地布置激光探测层(20)，其中，激光探测层(20)被构造用于产生结束激光烧蚀的探测信号(54)。
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