[发明专利]外观检验装置及其执行方法无效
申请号: | 201110449954.7 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN103185729A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 郑竹岚 | 申请(专利权)人: | 百励科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/898 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾台北市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种外观检验装置及其执行方法,所述外观检验装置包括数个取像单元、一光源、一同步单元、一影像分析判断单元、一马达以及一输送单元。取像单元分别撷取数个待测集成电路的表面影像。光源提供所需的光线。同步单元使撷取的表面影像同步传送至影像分析判断单元,影像分析判断单元根据撷取的表面影像判断待测集成电路是否有瑕疵。马达接收影像分析判断单元所传送的控制讯号,并根据所述控制讯号驱动所述输送单元移动。本发明使取像单元所撷取的表面影像同步传送至影像分析判断单元,借此缩短检测时间。 | ||
搜索关键词: | 外观 检验 装置 及其 执行 方法 | ||
【主权项】:
一种外观检验装置,其特征在于,包括:数个取像单元,分别撷取数个待测集成电路的表面影像;一光源,用于提供所述取像单元撷取所述待测集成电路的表面影像时所需的光线;一同步单元;一影像分析判断单元,所述同步单元使所述取像单元所撷取的表面影像同步传送至所述影像分析判断单元,所述影像分析判断单元根据所撷取的表面影像判断所述待测集成电路的表面是否有瑕疵;一马达;以及一输送单元,所述马达接收所述影像分析判断单元所传送的控制讯号并根据所述控制讯号驱动所述输送单元移动。
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